Mlase MLI-200 KrF準分子激光能量監測器

MLase 的現代緊湊型 MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脈沖能量高達 16 mJ，重復頻率高達 1，000 Hz

市場上具有最高刀具壽命和可靠性以及低擁有成本的獨立設備。由于光束輪廓均勻，能量穩定，適用于要求苛刻的應用。

后綴為LC的準分子激光器還可以選擇主動水冷（通過家用水或外部熱交換器;無去離子水），以實現穩定的連續運行。

Mlase MLI-200 KrF激光參數

波長（nm）248

最大重復頻率（Hz）200

穩定脈沖能量（mJ）10

穩定脈沖功率（W）2,0

能量穩定性（西格瑪，%）2 

光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3

光束發散度（FWHM，V x H mrad）2x1 

脈沖持續時間（FWHM）（ns）5-15

重量kg 75

冷卻 空氣

電源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大

尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445

Mlase MLI-200 KrF準分子激光主要功能

剛性設計

電暈預電離

固態電路

卡套管技術

能量監測器

緊湊型準分子激光，單相

Mlase MLI-200 KrF準分子激光優勢

高可靠性

均勻梁剖面

即時可用，無老化

全金屬密封管

數十億脈沖的延長壽命

能量穩定

易于操作，易于集成

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