客服熱線：
| 品牌bronkhorst | 有效期至長期有效 | 最后更新2022-01-22 13:50 |
| 瀏覽次數28 |
Bronkhorst質量流量計F-132MI
Bronkhorst質量流量計F-132MI
| 薛鈞 QQ：259698043 手機：18510057390 電話：010-64714988-217 傳真：010-64714988-668 郵件：tk7@handelsen.cn |
 |
 |
最小流量范圍：0.3-15 ln/min；
最大流量范圍：5-250 ln/min；
壓力：400bar；
半導體和LED照明產業：
最初，熱式質量流量計和控制器是在1970年代為半導體制造過程中的氣相沉積而開發的。由于市場需求以及在氣體、液體和蒸汽輸送方面引進新的更好產品的需要，Bronkhorst稱為半導體、平板顯示器和LED行業的主要供應商。針對化學氣相沉積（CVD）、平板顯示器噴涂（FPD）和原子層沉積（ALD）工藝，Bronkhorst可為直接液體注入系統提供金屬密封流量儀表。
Bronkhorst部分型號示例：
Bronkhorst F-231M-ABD-33-V
Bronkhorst F-201EV-ABD-22-V HI-TEC
Bronkhorst F-206AI-AAD-55-V
Bronkhorst F-203AV-1M0-AAD-55-V
Bronkhorst F-201CV-20K-BAD-00-V HI-TEC
Bronkhorst F-201CB-20K-AAD-00-Z
Bronkhorst F-203AV-M50-AGD-55-V
Bronkhorst F-203AI-1M0-AGD-44-V
Bronkhorst F-110C-002-AAD-11-V
Bronkhorst F-203AI-M50-AGD-44-V
Bronkhorst F-201CV-1K0-RGD-88-E
Bronkhorst F-203AI-1M0-AGD-55-V
應用案例：
切割（激光）前在晶片上沉積保護層
金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)
原子層沉積(ALD)
超臨界流體定量給料和控制（如超臨界二氧化碳清洗）
平板顯示器(FPD)噴涂
在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行氮氣吹掃：
目前先進的技術要求在生產過程中對氣體進行更好的流量控制，以提高產量并降低這些氣體的使用成本。
超臨界氣體測量與控制：
當流體例如二氧化碳(CO2)在氣液兩相臨界區域處，難以測量它們的流量。建議使用科里奧利質量流量計。
Bronkhorst質量流量計F-132MI 
